捷捷微电子有哪些机台,捷捷微电子机台型号及参数介绍
本文主要涉及捷捷微电子公司的机台型号及参数介绍。捷捷微电子是一家专业从事集成电路设计和制造的公司,拥有自主研发的技术和完善的生产线。以下是捷捷微电子具备的机台型号及参数介绍。
一、切割机
1.机型Disco DD3350
2.参数
切割方式内切割
切割速度300mm/s
晶圆尺寸6英寸/8英寸/12英寸
切割精度±5μm
3.应用
Disco DD3350切割机主要应用于半导体材料和器件的分离和切割,器件、光电、微机电系统等领域。
1.机型Strasbaugh 7F
2.参数
磨削方式双面磨削
晶圆尺寸6英寸/8英寸/12英寸
磨削速度300-600rpm
磨削精度±5μm
3.应用
Strasbaugh 7F磨床主要用于半导体晶圆、陶瓷和光电材料的双面磨削,传感器、光电器件等领域。
三、清洗机
1.机型TOW SCW-3600
2.参数
清洗方式超声波清洗
清洗介质去离子水
晶圆尺寸6英寸/8英寸/12英寸
清洗时间5-10min
3.应用
TOW SCW-3600清洗机主要用于半导体晶圆和器件的清洗,传感器等领域。
四、薄膜沉积机
1.机型pplied Materials Producer GT
2.参数
沉积方式PECVD
沉积气体SiH4/r/O2
晶圆尺寸6英寸/8英寸/12英寸
沉积速率10-100?/min
3.应用
pplied Materials Producer GT薄膜沉积机主要用于半导体晶圆和器件的薄膜沉积,传感器等领域。
以上是捷捷微电子公司具备的主要机台型号及参数介绍。这些机台传感器等领域,是捷捷微电子公司生产制造的重要设备。